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製品の詳細
- 高出力の600 Wモノクロ化AlKαX線源により、高い分析感度を確保
- 平均半径165 mmの二層エネルギー解析器により、高エネルギー分解XPS分析と高空間分解XPSイメージングを確保する
- 特許の浸漬式磁気レンズ技術は、分析感度を大幅に向上させる
- 特許の高速平行X光電子リアルタイムイメージングは、空間分解能が3μmより優れ、最高画素65536（256×256）、マイクロ領域元素と化学状態の空間分布分析を行うことができる
- 特許の同軸超低エネルギー陰影なし単電子源荷電中和器は、絶縁体XPS分析を完璧に解決する
- 特許の2次元アレイ遅延線検出器（Delay-Line Detector）は、光電子の強度と発光位置を同時に記録し、数秒以内に高エネルギー分解XPSスペクトルを得ることができる
- 全自動大見本台、100 mm×100 mmの大サンプル分析を実現できる
- エネルギー分解能は0.45 eVより優れている（Ag 3 d 5/2）
- 従来の解析エネルギー分解と感度が最大0.55eV@1.1Mcps（Ag 3d5/2）
- 絶縁体解析の解析エネルギー分解と感度が最大0.68eV@16kcps（PETのC 1 s）
- 単色化Al/Ag双陽極X線源を選択し、高エネルギーXPS分析を実現する
- データ収集とデータ処理を結合したVisionソフトウェアは、Windows XP/Vista/7など多くのプラットフォームの下で実行でき、各真空室の真空度のリアルタイム表示、真空バルブスイッチの操作、実験条件の設定と全自動無人分析などの強大な機能を実現する
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