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炭化ケイ素黒鉛トレイ
炭化ケイ素黒鉛トレイは急速焼鈍炉RTPシリーズの部品であり、輸入などの静圧黒鉛を用いて精密に製造し、効果的に設備の温度均一性を高めることができる（嘉儀通RTP-3-08を例に、温度均一性は1.5%から1.0%に高めることができる）。
製品の詳細
製品特徴：
1、高温に耐える
2、熱伝導性が良い
3、かがくてきせいしつあんてい
4、高硬度
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