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製品の詳細
製品の特徴
製品は主に小規模生産/科学実験に適用される
設備は開外が小さく、構造がコンパクトで、操作が簡単でメンテナンスが容易である
ドイツのコアプラズマ技術の導入
インレット316ステンレス鋼材質、耐食性
インレットニードルバルブ精密流量制御計
2ウェイプロセス反応ガス通路
お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
業界アプリケーション
基本パラメータ
| キャビティマテリアル | 316ステンレス鋼 |
| 電源周波数 | 40khz/13.56mhz |
| 容量（L） | 5L |
| パワー（W） | 500 |
| キャビティ寸法（L＊W＊H）mm | 直径150*280 |
| 外形寸法（L＊W＊H）mm | 660*700*600 |
| 真空度 | 30パ-100パ |
| ガス流量 | 0-100ml/s |
| せんじょうじかん | 1～100分で調整可能 |
| れいきゃくほうしき | ふうれい |
| ガスチャネル | 2ウェイ作動ガス、O2 , Arなど |
| せいぎょモード | ヒューマンインタフェース |
| 真空チャンバ温度 | ＜50℃ |
| 真空ポンプ | オイルポンプ/ドライポンプ（オプション） |
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