製品特徴：

最大サポート数20道路のリアルタイム測定ウエハ温度、

温度均一性リアルタイムグラフと数値表示、

データの収集Excelテーブルをエクスポートし、レポートを生成する、

ウェハ温度点分布を視覚的に表示し、自動的にキャリブレーションレポートを生成する、

迅速な交換が可能TC-waferおよびカスタム機能;

大画面高解像度表示、

データの最大収集10次/秒;

65かわらType-C急速充電

大容量バッテリを内蔵し、使用可能4時間、

10000バーデータ記憶量

複数の伝送方式をサポートし、例えばUディスク、Bluetooth、ワイヤレスネットワーク、

携帯電話の一体化設計、

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