主な製品技術特徴及び指標：

●ソフトウェアインタフェースは友好的で、科学的で、直感的である。現在の露出領域、露出対象領域、露出参照
数などの情報はリアルタイムのグラフィックスを提供します。
●背面アライメントモジュールを選択することで、両面アライメント露光が可能になり、この機種をダブルにアップグレードする
準露光機能に面するステッピング投影リソグラフィ。
●焦点面検出自動制御システムを配置し、焦点面位置設定後、露光中に自動リアルタイムで完了
コークス面調整。
●冷光膜とi線照明システムを採用し、露光波長は365 nm、露光面は冷光、露光
図形の方、急、まっすぐ。
●真空接触露光、ハード接触露光、圧力接触露光、近接露光の4種類の露光を支持する
関数を参照してください。
・特許技術−積木位置ずれハエ眼レンズを用いて2%よりも高い均一照明ムラを実現する。
●先進的な軸外アライメントシステムを採用し、アライメントプロセスが自動的に完成し、さまざまな大きさの基板、（破片を含む）アライメントに非常に適している。
●アライメント精度：±0.5μm。
●照明均一性：2%。
●露光面積：3 mm×3 mm～50 mm×50 mm。
●フォーカステーブルの運動感度：1μm。
●マスクサイズ：3インチ、4インチ、5インチ。
●フォーカステーブルの移動ストローク：5 mm。
●リソグラフィー分解能：0.3μm〜5μm。
●焦点検出：CCD検出、検出精度0.5μm。
●光源：350 W球形水銀ランプ。
●水銀ランプ電力：1000 W（直流、輸入直流高圧水銀ランプドイツオスロ）。