基本機能
剛性ガラス基板表面の薄膜系太陽電池エッチングを満たし、4台の設備を用いてそれぞれ異なる薄膜電池の異なる機能層エッチング需要に対応する。P 1はナノ秒赤外エッチングTCOを採用し、P 2はピコ秒紫外線または緑色光エッチング機能層を採用し、P 3はピコ秒紫外線または緑色光エッチングバック電極を採用し、P 4は高出力ナノ秒赤外線を採用してエッジをクリアする。
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生産能力が高い.:マルチプレクションビーム加工(シングルプレース)を搭載でき、シングルプレース100MW;
精度が高い:高精度CCD位置決め、位置決め精度±15 um、
信頼性が高い:特有の構造を採用し、設備の安定性が高い、
適応性が高い:各設備はオフライン(前後に反駁台を追加する必要がある)、またオンラインで使用することができ、異なる顧客のニーズに適応する、
パフォーマンスパラメータ
パラメータ |
P1赤外レーザエッチングマシン |
P2ピコ秒レーザエッチングマシン |
P3ピコ秒レーザエッチングマシン |
P4赤外レーザエッチングマシン |
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レーザ波長 |
1064/532/355nm |
355/532 nm |
355/532nm |
1064nm |
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しゅつりょく |
30W MOPA |
15-60W |
15-60W |
100W MOPA |
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加工ヘッド数 |
シングルヘッド/6ヘッド/12ヘッド |
シングルヘッド/6ヘッド/12ヘッド |
シングルヘッド/6ヘッド/12ヘッド |
シングルヘッド/ダブルヘッド |
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バッテリスライスサイズ |
300*400/500*500/600*600/600*900/600*1200mm |
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モータ位置決め精度 |
±5um |
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モータ最高速度 |
1m/s |
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最小エッチング線幅 |
30um |
30um |
30um |
1-20mm |
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最小公差 |
±5um |
±5um |
±5um |
±100um |
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最小線間隔 |
30um |
30um |
30um |
/ |
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ねつこうかりょういき |
5um |
5um |
5um |
50um |
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CCD位置決め精度 |
±10um |
±10um |
±10um |
±10um |
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ちょくせんど |
±20μm |
±20μm |
±20μm |
±20μm |
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しゅうじんりつ |
≥99% |
≥99% |
≥99% |
≥99% |
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コンベヤ速度 |
20 m/min(速度調整可能、タクトに影響を与える) |
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入出物高さ |
900±20mm |