並列加工専用液晶

液晶空間光変調器（SLM、Spatial Light Modulator）は、入力された階調情報により液晶両端の制御電圧を変化させ、液晶分子を実現し、入射光の光路差を変化させることができるデバイスである。超高速レーザ並列加工専用液晶空間光変調器はレーザ光の振幅、位相、などの情報を利用して、レーザーのビームスプリット機能を柔軟に実現することができ、同時にマルチビームの焦点位置、ビーム数、ビーム間隔などを使用して、高効率で正確な超高速レーザー並列加工を実現します。空間光変調器に基づく計算ホログラフィー技術は柔軟で制御可能な光場分布を実現することができ、予め設定された多焦点パターンアレイに正確に変調することができ、それによって効率的な並列加工を実現し、加工効率を大幅に高めることができる。同時利用空間光変調器Besselビームを容易に生成することができ、マイクロリング構造の単回露光式加工を実現することができる。

米Meadowlark Optics会社の1920x1152（P1920）系列空間光変調器の損傷閾値は200 W/cm 2に達することができ、水冷モジュールを備え、液晶の温度が一定で、深さが一定であることを保証する。同時に、このシリーズの空間光変調器は解像度が高い（1920 x 1152）、大ファセット（17.7 x 10.6 mm）、高充填因子（96%）、高リフレッシュレート（300Hz@1064nm)、高位相安定性(<>

製品指標パラメータ：