超薄型設備端自己ファンフィルタユニットPuriFan EFU
極低揮発物原材料
極めて低揮発性原材料を精選し、清浄度の要求が極めて高いEFU取付プロセスセグメントを満たし、例えば気体分子汚染物の制御に要求があれば、PTFEフィルタまたは化学フィルタをオプションで配合する
構造及び取り付け方式
機体構造は立体式、一体式、取り外し式に分けられる
設置：垂直設置、水平設置
低騒音、低振動設計
高効率、低エネルギー消費直流ブラシレスモータ（国産、EBMは顧客の異なる要求に対応）
高効率、低騒音インペラ、動平衡レベルG 2.5
厳格な検査プロセスにより、出荷製品ごとに100%合格を保証する
専用コントローラ
スタンドアロン制御：通信がない場合も操作可能
制御表示：コントローラは基本情報（回転数、故障、アドレス）を表示することができる
システム接続：顧客制御システムにシームレスにアクセスでき、EFUのリアルタイム「監視」を実現する。
履歴照会：EFU状態LISTを設定し、任意の時間帯の操作と状態記録を任意に照会することができる。
業界標準のModbus RTUを作成可能
スリムボックス設計
適応空間はより広く、箱体は最低4 x 4：160 mm、2 x 4：1 10 mmまで可能
軽量で、取り付けとメンテナンスが便利、
多種の材質はお客様の選択に供することができる（ステンレス、アルミニウム、亜鉛めっき鉄）
多様性設計
カスタマイズ性：お客様のニーズに合わせて外形寸法を作成
柔軟性：分解メンテナンスはSTOCKERおよびEQ内部から行うことができる
安定性：100000 Hモータベアリングを運転しても異常なし
インテリジェント：お客様システムとの互換性があります。終日リアルタイム監視
ぼかし防止性：特有の電源、通信端子インタフェースを備え、配線異常を避ける