上海聞奕光電科技有限公司のVFT真空光ファイバフィードスルーはプラズマの監視など、真空室内の光ファイバを接続する装置である。真空ファイバフィードスルーには、Viton型シールリング付きM 12ネジとSMAファイバコネクタ2個が含まれており、ファイバプローブと容易に接続することができます（SMA 905ファイバアダプタを2個追加注文する必要があります）。さまざまなモデルの真空通管がすべてのコア径の光ファイバにマッチし、9µm1000までµmまた、UV 200 ~ 1100 nmとIR 400 ~ 2500 nmの波長モデルがあり、顧客の要求に合わせてカスタマイズすることもできます。

VFT真空ファイバフィードスルーの概要

イーソン光電によって提供されるVFT真空ファイバフィードスルーは、半導体処理の光学モニタリングや薄膜吸着の最終検出など、超高真空の用途を実現するために、光を真空チャンバに導入または導出することができる。

キャビティと高圧用途の場合には良好な表現があり、真空度は最大10 ^-7 mbarに達し、操作温度は200°C（カスタマイズは最大300°C）である。

真空室は肉厚5-40 mmを要求し、キャビティに直径12 mmの丸穴を開ければよく、Oリングに密着した面はできるだけ滑らかで傷がないように注意する。

清浄度の高い金属またはガラスキャビティを用いて、VFTの超高真空応用の場合の表現を向上させる。

VFTファイバ過真空装置は半導体と薄膜処理における応用に加えて、環境検出、薬学的処理、光学コーティング生産に理想的なツールでもある。分子ビームエピタクシーと化学物理の蒸気吸着にも応用でき、空隔箱、手袋箱、中圧装置を配合する性能に優れた通管とすることができる。

VFT真空光ファイバフィードスルーの高圧と低圧面の終端はSMA 905コネクタに接続でき、イーソン光電の光ファイバ、光源、部品と簡単に共同で使用でき、当社の分光計などの光学機器も使用できる。

VFT真空ファイバフィードスルーにはM 12雄ねじがあり、M 12ねじ穴が開いたキャビティに直接ねじ込むことができ、または予備のナットとワッシャで滑らかな穴にねじ込むことができます。組み立てプロセスは非常に簡単で、SMA 905ファイバアダプタ1つでファイバとVFT真空ファイバをフィードスルー接続するだけでよい。試料室の低圧面には、金属シースの石英光ファイバセットを選択することをお勧めします。

VFT真空ファイバフィードスルーのファイバ直径は9μm、50μm、100μm、200μm、400μm、600μm、1000μmから選択可能である、波長はUV 200 ~ 1100 nmとIR 400 ~ 2500 nmを選択でき、SMA 905またはFCコネクタを選択できます。

オプション部品

VFT光ファイバ過真空装置は、KF 16、KF 25、KF 40などの組み合わせられた真空フランジをカスタマイズすることができる

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