構造特徴：

・特別ガスのためのキープロセス技術設計

・パネル式の全体構造で設置が容易

・本体は316 Lステンレス鋼を使用しており、半導体プロセスのガス使用に適している

・金属膜シート減圧構造

・材質の老化汚染を避けるためのハードシール構造

・ダイヤフラムバルブ制御を採用し、流路が簡潔で、操作が信頼でき、使用寿命が長い

・バルブユニットは溶接を用いてVCR構造と接続し、漏れを大幅に回避する。

・警報信号圧力計構造を選択でき、給気不足圧は警報信号を提供する

・特気系減圧器

・安全弁の配設

・輸入減圧弁及び管路の耐圧試験と漏洩試験

・2」ステンレス鋼圧力計、読み取りがはっきりしている

・すべてのダイヤフラムバルブつまみバンド「開閉」指示窓