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白色光干渉計
白色光干渉計は白色光干渉測定センサを採用し、その垂直分解能は0.1 nmの詳細な技術パラメータに達することができる：測定原理：白色光干渉測定、測定対物レンズ10 X 20 X 50 X垂直測定範囲：100 um（400 umオプション）垂直分解能0.1 nm、X、Y測定範囲：1.6 X 1.2 mm
製品の詳細
白色光干渉計
詳細な技術パラメータ：
測定原理白色光干渉測定
測定対物レンズ10 X 20 X 50 X
垂直測定範囲：100 um（400 umオプション）
垂直分解能0.1 nm
X，Y測定範囲：1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm
動作距離：3.6mm 3.6mm 1.7mm
横方向分解能2.5 um 1.25 um 0.5 um
白色光干渉計
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