一、概要

当社が生産したステンレス鋼シラン燃焼塔は、主に単結晶シリコン、多結晶シリコン業界の生産中に発生したシラン排ガス浄化に用いられる。この設備の成功的な応用は、主に我が社の技術者が国外の半導体業界に対してシラン排ガスを浄化する技術面の消化吸収であり、国内の太陽エネルギー、光エネルギー業界、半導体業界及びCVD化学ガス堆積プロセスで発生したシランガス浄化を満たす。

二、動作原理

シラン排ガスと空気接触による自燃の特徴に基づき、生産工程で発生したシラン排ガスは配管からYZR型ステンレスシラン燃焼筒に入って燃焼処理を行い、燃焼筒処理を経た排ガスは配管からYZR型ステンレスシラン燃焼塔に入って二次燃焼処理を行い、燃焼処理後のガスは燃焼塔のシャワー室に入って一次シャワー処理を行い、フィラー層を通って二次噴霧処理に入り、排ガスと中和循環液を十分に逆接触反応させ、その後脱液処理を経て抽気機から排出する。

三、製品の外形

四、流れの概略