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原子間力顕微鏡
原子間力顕微鏡AFMは、測定プローブと試料との間の力を利用して、ナノスケールの*高精度走査分析を行う。表面形態に加えて、異なる測定モードを用いて材料の他の特性を分析することができる。走査範囲は20 um×20 umから80 um×80 umまでである。半導体業界、自動車製造、皮革工業、製紙工業、生物
製品の詳細
原子間力顕微鏡は半導体業界の測定に用いられる
X，Y測定範囲：20umX20um; 40umX40um; 80umX80um
Z測定範囲：2um 4um 6um
X，Y解像度：0.1nm
Z解像度：0.01nm
原子間力顕微鏡(AFM)小さなサイズで
カンチレバー上の精密チップによるサンプルの表面走査
先端とサンプル表面原子間の相互に力を加えると
カンチレバーの位置がわずかにずれ、次に被あつりょくていこう
要素が変化を検出し、測定されるに基づいて
この影響は、AFM高解像度でそくてい
表面形態及び粗さは、非破壊測定に属する
AFM異なる動作モードを使用できるため、
より多くのパフォーマンスを研究するために使用する,例えばサンプルの静電気
力、磁力、または弾力。
特徴：
パフォーマンスの測定
高解像度表面形態測定
先端が自動的に測定サンプルの表面に接近する
サンプル表面サンプリング通過ピエゾ抵抗誘導素子
接触測定モード、非接触測定モード
静電力と磁力特性の測定
measurement of electrical and magnetic properties,
側力及び弾性力測定lateral forces and elasticity*1
えきたいそくていmeasurement in liquids*2
その他の動作モードオプション
*1 contact mode in basic version, additional modes upon request
*2 optional
Atomic Force Microscopy
Surface Characterizationひょうめんとくせい
Very High Resolutions極高分解能
一般的な用途：
マイクロ工業技術の品質保証
ナノメートルサブナノスケール粗さそくてい
シリコンウェハ及び光学デバイスの表面測定range
生物標本の表面特徴
ナノ構造測定
医学サンプルの表面特徴の研究medical samples,
e.g. protheses, catheters or stents
材料科学に応用して輪ゴムを検査する,磁性ワーク等
AFM measuring headそくていヘッド
control unit制御デバイス、センサーは電動台に取り付けられている
sensor mount with motor-driven z-stage
software, operating manual測定ソフトウェア操作マニュアル
オンライン照会
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