上海絵吉電子科技有限公司
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    上海市奉賢区程普路377号悠口産業園D区1106室
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1200°C三温域九チャネル混合ガス高真空CVDシステムOTF-1200 X-4-III-9 HV-
1200°C三温域九チャネル混合ガス高真空CVDシステムOTF-1200 X-4-III-9 HV-
製品の詳細

GSL-1700 X-HVC 9はCE認証の直径80 mmのアルミナ管炉で、真空ポンプシステム(最大10-5 torr)と9チャンネル精密デジタル質量流量計を備え、CVDや拡散する9種類のガスを制御でき、動作温度は1700 oCに達する。

技术参数
ファーネスこうぞう

●空気冷却二層鋼ケース

●内部に2つの冷却ファンがあり、ケーシング温度<55℃を維持することができる。

● 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长炉膛的使用寿命

●高純度アルミナ耐火室

●真空とガス混合システムは底部の4輪移動カートにある

●真空フランジ、計器、バルブ、配管、高真空ポンプを含み、すぐに使用できる

権力 6キロワット
でんあつ 交流208-240 V単相、50/60 Hz
ヒータエレメント 1800°C級MoSi 2加熱素子8個
さいこうおんど 1700°C(<1時間)
れんぞくおんど 1600℃
さいだいかねつそくど ≤5°C/min
管材の寸法と材料

●米国製の高品質アルミナ管

●(標準寸法)(60 mm)外径x内径(54 mm)x 1000 mm長さ

●(選択寸法)(80 mm)外径x内径(74 mm)x 1000 mm長さ

● 高温でパイプが曲がらないようにステンレス製の調音スタンドを2組取り付けた(下図をクリックして詳細を見る)。

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かねつりょういき

●加熱ゾーン長:457 mm(18インチ)

●恒温域長:150 mm(6インチ)(+/-1摂氏度)注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

おんどせいぎょき

・プログラム可能な50段精密デジタル温度コントローラ。

●自動調整機能で調節可能なPIDは+/- 1°C内の温度安定性を保証します。 控温仪表操作视频

●過熱および壊れた熱カップルのための各コントローラの完全な保護。

熱カップル B型熱カップル内蔵
真空フランジ

●真空ホースとガスフィッティングパイプの2つのステンレス鋼フランジ。1つのフランジはKFD-40アダプターおよびボールバルブで取付けられています

●300°Cの下で使用するための二重高温シリコンOリング

●熱放射からフランジを保護するために含まれる多孔アルミナブロック

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真空ポンプ

底部のケースに取付けられた真空ポンプの引き出し段階:

● 1つの二重ステップロータリーベーン高速機械真空ポンプ-T2XZ-4C110withの最大。 10-2のtorrの真空圧力。

●最大2x10-5トルの真空圧を持つ1つのターボ分子ポンプ。

●設置された1つの精密真空センサー。

●ステンレス鋼のホースの管は管炉に接続するために含まれています

●設置されたデジタル真空計/コントローラー

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真空センサー&ディスプレイ

● 真空センサーはチューブ炉の真空フランジに設置され、デジタル真空圧力ディスプレイに接続します。

●真空コントローラーおよびディスプレイは底のモバイルカートにインストールされています

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ガス流量計
ユーザーマニュアル(ダウンロードするには)

●9つの精密質量流量計(CS200)コントローラーは、フルスケールの+/-1%のデジタルディスプレイパネルを備えた底部のモバイルカートに取付けられています(精度はフルスケールの35%-100%以内です)
● 範囲 0 - 1000scc の 3 MFC
●範囲0 - 200sccの3MFC
● 範囲 0 - 10 scc の 3 MFC
●1つの浮動メーターはN2ガスのみのために設置されます

● 1つの機械圧力計はミキサーの各ガスの圧力を監視するための底の移動カートに取付けられています。

●ガス流量を調整するダイヤルボタン付きの9mass flow MFC制御パネル/ディスプレイ。下の写真をご覧ください。

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ソフトウェアとインタフェース(オプション、追加料金が必要)ソフトウェアの操作手順を取得するには、uderlineをクリックしてください

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配管接続、バルブ、ガス混合器

●SS 316 1/4”配管/継手

●SS 316真空ニードルバルブ

● 21 移動キャビネットの右側パネルの外にはステンレス真空バルブ群が取り付けられ、それぞれ真空ポンプ、流動ガス、2つの入口ガスを制御している。

●ここをクリックして配管接続の概略図を見てください。

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寸法すんぽう 炉:550 x 380 x 520底部移動箱:600 x 600 x 597
ネットウェイト 約100キロ
出荷重量 200ポンド
梱包後の梱包寸法 1つのプラスチックトレイに2つの箱を入れる:45 x 45 x 35/箱
保証と証明書

● 1年間の限定保証(チューブ、Oリング、加熱素子などの損傷しやすいものは保証の対象外です。以下の関連製品に交換品を注文してください。)

●CE証明書

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