プライマリ
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計器計器
1200°C三温域九チャネル混合ガス高真空CVDシステムOTF-1200 X-4-III-9 HV-
1700°C二通路混気高真空CVDシステムGSL-1700 X-HVC
2炉体スライドPECVDシステム&サイクルグローブボックスOTF-1200 X-PESDFG-50
るつぼ(試料台)可搬型1200℃管式炉OTF-1200 X-S-HPCVD
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