GSL-1700 X-HVCはCE認証の2チャネル高真空CVDシステムであり、2ウェイ陽子混合気システムと高真空ユニットから構成され、その最高動作温度は1600℃、限界真空度はto 10 ^-5 torrに達することができる。混合ガスシステムは、2つのガスを正確に混合し、管式炉の内部に導入することができる。
技術パラメータ | ||
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GSL-1700 Xシリーズ管式炉 | シェル |
・2層筐体構造を採用し、筐体表面の温度が55°C未満になるように空冷を有する ●内部炉の表面に米国から輸入された高温アルミナコーティングを施すことで、設備の加熱効率を向上させることができ、同時に器具の寿命を延長することもできる ●保温材に高純度アルミナ繊維を採用し、環境に配慮し省エネ、熱損失を低減 ●真空ポンプとガス混合システムは移動フレーム上に位置し、移動しやすい ●器具に高真空フランジ、バルブ、高真空ユニットを取り付けた |
ろ管 |
●材質:高純度アルミナセラミックス管 ●炉に取り付けられた高純度アルミナセラミック管 ●(標準サイズ)(60 mm)O.D.x I.D.(54 mm)x 1000 mm Length ●(オプションサイズ)(80 mm)O.D.x I.D.(74 mm)x 1000 mm Length |
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しゅつりょく | 6KW | |
動作電圧 | MAC 208−240 V単相、50/60Hz | |
ヒータエレメント | 1800°C grade MoSi 2 heating element 8本 | |
動作温度 |
●最高動作温度:1650°C ●連続動作温度:1600°C |
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しょうおんそくど | ≤5°C/min | |
かねつりょういきのながさ |
●加熱ゾーンの長さ:457 mm (18") ●恒温域長:150 mm (6")(+/-1°C)注:測定手段及び外部環境の影響により、測定結果にばらつきがある可能性があり、このパラメータは参照のみで当該装置の技術指標としない。製品を購入するには正確な恒温域データが必要です。当社の営業担当者に連絡してください |
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温度制御システム |
●PID方式による自動制御、30段昇降温度プログラムの設定が可能 ●温度制御精度:±1°C ●温度制御計器の操作ビデオ ●熱電対:B型、炉内に設置済み |
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しんくうフランジ |
●一対のステンレス真空シールフランジが取り付けられている ●フランジに機械圧力計が付いている ●2つの精密ニードルバルブ ●KF-25コネクタとKF-25回転KF-40抽気ポート ●1/4”ブッシュ継手1個 |
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外形寸法 | 550 x 380 x 520mm | |
高真空ユニット | しゅつりょく | 100~110W |
動作電圧 | MAC 208−240 V単相、50/60Hz | |
外形寸法 | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | |
シェル |
●ケースサイズ:600(L)x 600(W)x 700(H)、mm ●最大積載量:600 Lbs on top ●分子ポンプ制御パネル:LCDデジタル表示 ●Pfeiffer vacuum pump made in Germanyが内蔵: |
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コントロールパネル |
●ワンタッチ操作:「start」ボタンを押すと、ダイヤフラムポンプとタービン分子ポンプが起動する(ダイヤフラムポンプが先に起動するなど真空度が10-2 mbarに達した後、分子ポンプが自動的に起動する) ●システム制御回転速度:キャビティ内の真空度に基づいて、システムは自動的に回転板ポンプの回転速度を制御する ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
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抽気速度 |
● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s |
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作業範囲 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
きょくげん | <1E-8 mbar (without any leaking ) | |
MFCマスフローコントローラ | シェル |
●316ステンレス製 ●混合気タンクサイズ:Φ80X120mm ●外形寸法:600(L) x 600(W) x 700(H), mm ●MFCコントロールパネル(Click to enlarge)、顧客の要求に応じてカスタマイズ可能 ![]() |
しゅつりょく | 18W | |
動作電圧 | AC 208-240V, 単相、50/60Hz | |
品質保証期間 | 1年間の品質保証期間、関連消耗品を除く、例えば炉管、シールリング、等消耗品 | |
品質認証 | ●CE認証 ●すべての電気部品(>24 V)がUL/MET/CSA認証を取得 ●お客様が認証費用を出す場合、当社は単一設備がドイツTUV認証またはCAS認証を通過することを保証する |