上海絵吉電子科技有限公司
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1700°C二通路混気高真空CVDシステムGSL-1700 X-HVC
1700°C二通路混気高真空CVDシステムGSL-1700 X-HVC
製品の詳細

GSL-1700 X-HVCはCE認証の2チャネル高真空CVDシステムであり、2ウェイ陽子混合気システムと高真空ユニットから構成され、その最高動作温度は1600℃、限界真空度はto 10 ^-5 torrに達することができる。混合ガスシステムは、2つのガスを正確に混合し、管式炉の内部に導入することができる。

技術パラメータ
GSL-1700 Xシリーズ管式炉 シェル

・2層筐体構造を採用し、筐体表面の温度が55°C未満になるように空冷を有する

●内部炉の表面に米国から輸入された高温アルミナコーティングを施すことで、設備の加熱効率を向上させることができ、同時に器具の寿命を延長することもできる

●保温材に高純度アルミナ繊維を採用し、環境に配慮し省エネ、熱損失を低減

●真空ポンプとガス混合システムは移動フレーム上に位置し、移動しやすい

●器具に高真空フランジ、バルブ、高真空ユニットを取り付けた

ろ管

●材質:高純度アルミナセラミックス管

●炉に取り付けられた高純度アルミナセラミック管

●(標準サイズ)(60 mm)O.D.x I.D.(54 mm)x 1000 mm Length

●(オプションサイズ)(80 mm)O.D.x I.D.(74 mm)x 1000 mm Length

しゅつりょく 6KW
動作電圧 MAC 208−240 V単相、50/60Hz
ヒータエレメント 1800°C grade MoSi 2 heating element 8本
動作温度

●最高動作温度:1650°C

●連続動作温度:1600°C

しょうおんそくど ≤5°C/min
かねつりょういきのながさ

●加熱ゾーンの長さ:457 mm (18")

●恒温域長:150 mm (6")(+/-1°C)注:測定手段及び外部環境の影響により、測定結果にばらつきがある可能性があり、このパラメータは参照のみで当該装置の技術指標としない。製品を購入するには正確な恒温域データが必要です。当社の営業担当者に連絡してください

温度制御システム

●PID方式による自動制御、30段昇降温度プログラムの設定が可能

●温度制御精度:±1°C

温度制御計器の操作ビデオ

●熱電対:B型、炉内に設置済み

しんくうフランジ

●一対のステンレス真空シールフランジが取り付けられている

●フランジに機械圧力計が付いている

●2つの精密ニードルバルブ

●KF-25コネクタとKF-25回転KF-40抽気ポート

●1/4”ブッシュ継手1個

外形寸法 550 x 380 x 520mm
高真空ユニット しゅつりょく 100~110W
動作電圧 MAC 208−240 V単相、50/60Hz
外形寸法 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
シェル

●ケースサイズ:600(L)x 600(W)x 700(H)、mm

●最大積載量:600 Lbs on top

●分子ポンプ制御パネル:LCDデジタル表示

●Pfeiffer vacuum pump made in Germanyが内蔵:

コントロールパネル

●ワンタッチ操作:「start」ボタンを押すと、ダイヤフラムポンプとタービン分子ポンプが起動する(ダイヤフラムポンプが先に起動するなど真空度が10-2 mbarに達した後、分子ポンプが自動的に起動する)

●システム制御回転速度:キャビティ内の真空度に基づいて、システムは自動的に回転板ポンプの回転速度を制御する

1 1 1 1 1
抽気速度

● N2 33 L/s

● He 39 L/s (2340L/minute)

● H2 32 L/s

作業範囲 1000 mbar to <1E-7 mbar
きょくげん <1E-8 mbar (without any leaking )
MFCマスフローコントローラ シェル

●316ステンレス製

●混合気タンクサイズ:Φ80X120mm

●外形寸法:600(L) x 600(W) x 700(H), mm

●MFCコントロールパネル(Click to enlarge)、顧客の要求に応じてカスタマイズ可能

1
しゅつりょく 18W
動作電圧 AC 208-240V, 単相、50/60Hz
品質保証期間 1年間の品質保証期間、関連消耗品を除く、例えば炉管、シールリング、等消耗品
品質認証 ●CE認証
すべての電気部品(>24 V)がUL/MET/CSA認証を取得
お客様が認証費用を出す場合、当社は単一設備がドイツTUV認証またはCAS認証を通過することを保証する
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