Apreo

最も豊富な機能を備えた高性能SEM

Apreo複合レンズは静電と磁気浸漬技術を結合し、前例のない高解像度と材料コントラストを生成することができる。

Apreoは磁性試料の性能を低下させることなく、ナノ粒子、触媒、粉末及びナノデバイスを研究するための理想的なプラットフォームである。従来の高分解能SEMレンズ技術は、磁気浸漬または静電の2種類に分類されている。FEIは初めて2つの技術を1つの機器に組み込んだ。このようにすると、いずれかの鏡筒の個体性能をはるかに上回る効果が得られる。いずれの技術も電子ビームを微細なプローブに形成し、低電圧での分解能を高め、信号電子を鏡筒に入れる。磁気レンズと静電レンズを複合レンズに組み合わせることで、解像度が向上するだけでなく、特有の信号フィルタリングオプションも追加されました。1 kV電圧での静電−磁気複合終端レンズの分解能は1.0 nm（電子ビーム減速やモノクロメータなし）であった。

Apreoにはレンズ内後方散乱検出器T 1があり、信号をできるだけ多く収集するためにサンプルに近い位置にあり、短時間でデータを収集することが確実である。他の後方散乱検出器と異なり、この高速検出器は常に良好な材料コントラストを保証し、ナビゲーション時、傾斜時、または作業距離が短い場合も例外ではありません。敏感なサンプルでは、検出器の価値が浮き彫りになり、電流が数pAまで低くても、明確な後方散乱画像を提供することができます。複合終段レンズはエネルギー濾過によりよりより正確な材料コントラスト及び絶縁試料の無電荷イメージングを実現し、T 1 BSE検出器の潜在価値をさらに延長した。指向性後方散乱検出器（DBS）、STEM 3＋、低真空ガス分析検出器（GAD）などの検出能力を補完するための一般的なオプションも提供しています。これらの検出器はすべて、ニーズに応じて最も価値のあるサンプル情報を選択するためのユニークなソフトウェア制御分割機能を持っています。

各Apreoには、SmartSCANなどの高真空技術を含む絶縁サンプルを処理するためのさまざまな戦略が標準で装備されています。™、ドリフト補償フレーム積分（DCFI）と電荷フィルタリング。最も挑戦的なアプリケーションでは、Apreoは電荷緩和戦略を提供することができます。その中には、オプションの低真空（最高500 Pa）戦略が含まれており、現場検証された穿孔式差分抽気機構と専用の低真空検出器を通じて、いかなるサンプル上の電荷を緩和するだけでなく、優れた解像度と大きな分析電流を提供することができる。

分析技術の使用が一般化するにつれて、Apreo倉庫は新しい設計を経て、異なる部品と実験をよりよくサポートするようになった。倉庫室には最大3つのEDS/WDSポートが収容され、迅速で敏感なX線測定、共面EDS/EBSD/TBD配列を実現し、（冷凍）CL、ラマン、EBIC、その他の技術と互換性がある。

これらの機能はすべて、簡単なサンプル処理とよく知られたxT UIによって取得でき、新規ユーザーと専門家レベルのユーザーの時間を節約できます。カスタマイズ可能なユーザーインタフェースには、多くのユーザーガイド、自動化、リモート操作オプションが用意されています。