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製品の詳細
デスクトップ型プラズマ洗浄、エッチングシステム、プラズマエッチング&反応イオンエッチングシステム
チャンバ構造：
モデル比較：
適用：
·エッチング：酸化物エッチングRIEパターン、窒化物エッチングRIEパターン、シリコンエッチングRIEパターン、レジストエッチングRIEパターン、ポリマー（RIE+PE)、2次元材料RIE
·表面処理：親水処理PEモード、機能化PEモード、接着力強化：PE+RIE、高分子： RIE+PE
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