デスクトップ型高性能マグネトロンスパッタリングシステム Desktop Proは高性能、小型、手頃なマグネトロンスパッタリングシステムを提供している 省スペース Desktop Proは36インチ未満のスペース（0.9 m）しか必要ありません コスト削減 1つの電源で2つの標的銃を駆動できる 均一性に優れている 傾斜したターゲットガンと回転ワーク盤により、ワーク盤全体に5%のメッキ均一性を達成 真空引き速度が速い 65 lpsのターボ分子ポンプを吸引し、システムの優れた真空吸引性能と反応ガスへの負荷能力を保証する

Desktop Pro製品カラーページダウンロード 強力な制御システム

PLCベースのタッチスクリーン制御システムは、保守モード、手動操作モード、半自動操作モードの動作モードを提供する インターロック保護により、不適切な操作による人員や設備への損害を回避 典型的な用途 マグネトロンスパッタリング マグネトロンスパッタリング 材料の研究 製品品質管理と分析 半導体失効解析

ナノテクノロジー	ふくごうはんどうたい
オプション
マグネトロンスパッタリング
えきたいちっそれいきゃくトラップ
きょうスパッタリング
無線周波数/直流スパッタ電源
マルチターゲット銃
質量流量制御器、ガス流量を正確に制御する