・2つの炉体が1つのスライドレールの上にあり、炉体をスライドさせることでサンプルの急速加熱と急速冷却に効果がある

●連続動作温度：1100℃

●両方の炉体に30段の昇降温度プログラムを設置することができる

●出力周波数：13.56 MHz ±0.005%

●最大無線周波数電力：500W

●マッチング：自動マッチング

●騒音：<50 dB.

●冷却：空気冷却

●入力電源：208-240 VAC、単相、50/60Hz

●VRD-16を用いた二回転真空ポンプ、限界真空10 E-3 Torr

●KFD 25速接合、ステンレスコルゲート管、手動バッフルバルブとフランジ、真空ポンプ接続

●管内の真空は10 E-2 Torrに達することができる

●4つの精密質量流量計（精度1.5%）：数字表示、自動制御

●MFC 1範囲：0~100 sccm

●MFC 2と3：0~200 sccm

●MFC 4範囲：0~500 sccm

●底部に廃液排出口を備えた混合気タンク

●4つのステンレスニードルバルブが給気システムの左側に取り付けられ、4種類のガスを手動で制御できる

●吸気口：4つの1/4 NPS

●吐出口：4つの1/4 NPS.

●PLC制御流量計を採用し、タッチパネルによる制御

●CVDシステム用の気液混合装置を選択可能

●高純度石英管、サイズ50 mm O.Dx 44 mm I.Dx 1800 mm L

●ステンレスシールフランジ一式を備え、その上に真空計を取り付けた

●入力電源24 V、1 A DC（電圧変換器付き）

・測定範囲3.8 x 10-5-125 Torr.

●データ表示デジタル表示（画面サイズ20 x 14 mm）、そのデータ表示単位はtorr

●ジョイントKF 16ジョイント

●製品サイズ46 mm×28 mm×126 mm（LxWxH）

●グローブボックスサイズ：780 mm（L）x 700 mm（W）x 650 mm（H）

●除水システム付き：水分含有量<2 ppmを保持

●グローブボックスの左側に真空フランジがあり、PECVDシステムの石英管に接続されている