インスタンスの適用

基板材料

ひょうじゅんはちょう

XUV（EUV）ミラー

EUVリソグラフィ

高次高調波応用

アト秒科学

Xラジオレーザ

たそうミラー

Mp/Si

Ru/Si

Zr/Al

SiC/Mg

Cr/C

50電子ボルト100でんしでんあつ

50電子ボルト100でんしでんあつ

50電子ボルト70でんしでんあつ

25電子ボルト50でんしでんあつ

終了300でんしでんあつ

たんそうはんしゃきょう

SiC

Pt

Ru

10電子ボルト100でんしでんあつ

Xラジオミラー

シンクロトロン応用

XFEL適用＃テキヨウ＃

組み込みX放射線非破壊検査装置

たそうミラー

W/C

W/B4C

Ru/C

Pt/C

1k電子ボルト30kでんしでんあつ

たんそうはんしゃきょう

C

B4C

SiC

Cr

Ni

1k電子ボルト30kでんしでんあつ

XUVマルチミラー

説明

基板形状：平面、凸形、凹形、放物面、超環面、楕円面

基板材料：石英、シリコン、zero dewerなど

多層膜材料：Mo/Si、Ru/Si、Zr/Al、SiC/Mg、Cr/Cなど

基板サイズ：φ3ミリからφ300ミリメートルMo/Si多層ミラーは近接している13ナノメートル（90電子ボルト）波長の高い反射率。NTT-ATのMo/Si多層ミラーはガンダム70%の正入射反射率。NTT-ATのXUVミラーの材料、膜構造及び基板形状は、中心波長及び光学装置に関するユーザのニーズを満たすようにカスタマイズすることができる。

基板形状：平面、楕円面、放物面、柱面、超環面

基板：石英、シリコン、zero dewerなど

基板材料：W/B4C、W/C、Pt/C等基板サイズ：最大500ミリメートルNTT-AT提供K-Bミラーシステム、ウォルトミラーなど

Xラジオ多層反射鏡

説明

反射率、ピンク、計算された反射率、周期長：2.95ナノメートル）W/B4C複数レイヤーとW/C多層膜ミラー対ハードX放射線応用は高い反射率を有する。反射と凝集を効率化するためにハードX放射線は、入射角の斜角を最大限に小さくしなければならない。これには、長いミラー長と小さい多層膜周長が必要である。

たんそうはんしゃきょう

説明

基板形状：平面、楕円面、放物面、柱面、超環面

基板材料：石英、シリコン、zero dewerなど

多層材料：C、B4C、SiC、Ru、NbN、Ptなど

基板サイズ：最大500ミリメートル

全反射単層ミラーを用いたビーム制御、光重合、除去XUV終了X放射線範囲内の不要な波長。NTT-ATの単層ミラーの材料及び基板形状は、中心波長及び光学装置に関するユーザのニーズを満たすようにカスタマイズすることができる。ルテニウム層付き楕円面反射鏡