概要

FT-NMT 04ナノ機械試験システムは多機能なinsitu走査電子顕微鏡/光ファイバナノ圧子であり、ミクロとナノスケールにおける材料の力学的挙動を正確に定量化することができる。

世界初の基盤としてMEMSのナノ圧子、FT-NMT 04は専用のFemtototoolsマイクロエレクトロニクスシステム（MEMS）技術に基づいている。20年以上の技術革新を利用して、このようなinsituナノ圧子は比類のない分解能、再現性、動的応答を持っている。FT−NMT 04その場ナノ圧子は金属、セラミックス、薄膜及びメタマテリアル及びMEMSなどの微細構造の機械的試験に用いられる。また、さまざまなアクセサリを使用することで、FT-NMT 04の性能をさまざまな研究分野の共通要件に拡張することができます。典型的な用途としては、微細孔の圧縮試験または骨標本、フィルムまたはナノワイヤの引張試験による塑性変形機構の定量化が挙げられる。また、圧縮試験中の連続剛性測定は、マイクロビーム破断試験中のクラック拡大と破断靭性を定量化することができる。500 pnと50 pmの低雑音フロアはそれぞれ比類がないため、FT-NMT 04の浅いナノインデンテーションは比類のない反復性と、ナノインデンテーションとEBSDマッピングの前例のない相関性を持っている。

二、 機能

l主な機能

FT-MNT04げんいSEMナノインデンテーション計は、ナノインデンテーション、マイクロピラー圧縮試験、マイクロカンチレバービーム破断試験、引張試験、STEM／EBSD関連のinsituナノメカニカル試験。そのうち、ナノインデンテーション機能は低体積材料の硬度とヤング率の測定、定接触力学と動力応答の定量化、多軸応力下の変形機構の特性化、マイクロカラム圧縮試験機能はスライドシステムの臨界せん断応力の測定、一軸応力下の変形機構の特徴付け、延伸損傷と局所歪量子化を行うことができる、マイクロカンチレバー破断試験機能は実行可能サブミクロン破壊靭性連続J積分、単調循環破断挙動の特性化、単一亀裂発生と拡張の定量化。マイクロ引張試験機能は降伏応力、限界引張応力と破断伸びの測定、単調サイクル荷重下での破断の特徴付け、局所歪み効果と亀裂広がりの量子化を行うことができる；STEM/EBSD関連のその場ナノ機械試験機能は局所歪の定量研究、相転移の定量研究、テクスチャ進化の定量研究、転位動力学の定量研究、粒界移動の定量的研究。

l技術的特徴

ナノインデンテーション、圧縮、張力、破断及び疲労試験

複合、動的キャリブレーションを必要とせずに連続硬度測定または疲労試験を行うことができる

高温試験温度は400℃に達することができる

ヘッド面積関数とフレームコンプライアンスの簡単な決定

測定結果の評価とフィッティングのための電力データ解析ツールきのうけいさんぶつせいのう

迅速なインストールと移動が可能除去SEMチャンバ

コンパクトで、モジュール化された設計はほとんどの走査型電子顕微鏡に統合できる

カスタマイズ可能な測定プログラム

lぎじゅつりょく

ちからセンサ

-最大力：200 mN

-力雑音床：0.5 nN（10 Hz時）

-測定周波数は96 kHzまで

へんいセンシング

-変位範囲：21 mm

-変位ノイズ：1 nm（10Hz）

-測定周波数：50 Hz

へんいセンシング

-変位範囲：25μm

-変位ノイズ：0.05 nm（10Hz）

-測定周波数は96 kHzまで

3、4及び5軸力センサをサンプルと位置合わせする

-X、Y、Z閉ループ位置決め範囲：21 mmx 12 mmx 12 mm

-X、Y、Z閉ループ位置決めノイズ：1 nm

-サンプル傾斜範囲：90°

−試料回転範囲：360°（FT−NMT 04−XYZ−R）、180°（FT−NMT 04−XYZ−RT）

−試料角ノイズ：35ミクロン