KLAのFilmetricsシリーズは分光反射技術を利用して薄膜厚の正確な測定を実現し、その測定範囲はnm-mmから、例えばレジスト、酸化物、シリコンあるいはその他の半導体膜、有機薄膜、導電性透明薄膜などの膜厚の正確な測定を実現でき、半導体、マイクロ電子、生物医学などの分野に広く応用されている。FilmetricsはF 10-HC、F 20、F 32、F 40、F 50、F 60-tなど多くの製品を持ち、数mmから450 mmの大きさのサンプルを測定することができ、フィルムの厚さ測定範囲は1 nmからmm級である。Filmetrics F 10-RTは真空めっき膜を設計目標とし、マウスをクリックするだけで反射と透過スペクトルを得ることができる。ハードウェア構成を変更する手間をかける必要はありません。F 10-RT-UVはマウスをクリックするだけで反射と透過スペクトルを同時に収集することができ、1秒未満でアレイの分光計は迅速に資料を収集することができます。また、Filmetrics専用のAutobseline設計により、基準キャリブレーションのパラメータ読み取り時間を10倍以上削減できます。従来の価格のほんの一部で、ユーザーは最低/最高分析を行い、FWHMを確定し、色分析を行うことができます。オプションの厚さと屈折率モジュールにより、Filmetrics F 10の解析能力を活用できます。測定結果は迅速にエクスポートされ、印刷されます。

一、主な機能

l主な用途

フィルムの反射率と透過率を同時に測定する

159空間色系の色解析

159多層薄膜の分析能力

159膜厚及びパラメータソルバモジュール

lぎじゅつりょく

スペクトル波長範囲：380-1050 nm

厚さ測定範囲：15 nm-70μm

測定n&k最小厚さ：100 nm

精度：大きな値をとり、2 nmまたは0.4%

精度：0.1 nm

安定性：0.07 nm

スポットサイズ：6 mm

二、適用＃テキヨウ＃

半導体製造：レジスト、酸化物、窒化物

液晶ディスプレイ：液晶ギャップ、ポリイミド保護膜、ナノインジウムスズ金属酸化物

バイオメディカルオリジナル：ポリマー/ポリパラキシレンコーティング、バイオフィルム/気泡球厚、薬物コーティング用ステント

マイコン電気システム：シリコン膜、窒化アルミニウム/酸化亜鉛薄膜フィルター

光学めっき膜：ハードめっき膜、増透めっき膜、Filtersフィルタ