EIS-200はElionixが発売した電子サイクロトロン共鳴技術（ECR）に基づく小型イオンビームエッチングシステムであり、特に科学研究用イオンビームエッチング、薄化、洗浄、堆積などに適している。

EIS-200原理：

ECR技術を利用して高エネルギーAr+イオンビームを生成し、Ar+イオンビームは電界加速によりサンプル表面に到達し、サンプルに物理的な衝撃を与えてエッチング作用を達成する。

EIS-200次の利点があります。

159は方向性がよく、異方性があり、急勾配が高く、側面エッチングが少ない

159分解能が高い

159はエッチング材料に制限されず、石英などの材料をエッチングすることができる

159制御可能エッチングTaperかく

Ÿ

多様な実験条件を設定できるŸNPD（ナノパターン成膜ユニット

)

オプション（下図）

主な機能

ナノスケールパターンエッチング

高深アスペクト比エッチング

イオンビーム堆積

表面クリーニング

イオンげんすい

ぎじゅつりょく

適用＃テキヨウ＃ナノサイズパターンエッチング、高深度幅比エッチング、表面洗浄、イオン低減など

ŸSiO2on Si substrate

ŸDiamond

Substrate（ダイヤモンド）