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光学表面測定システムLeica DCM 8
光学表面測定システムLeica DCM 8
製品の詳細

Leica DCM 8は高精細共焦点顕微鏡技術と干渉測定技術を融合させ、さらに豊富な付加機能を追加し、各種材料の表面特性の正確な再現を便利にした。あなたの記録の需要を満たすために、システムの内蔵メガピクセルCCDカメラと4つのLED光源は並々ならぬ真彩イメージング機能を提供する。

一般的な技術パラメータ

1.測定原理:非接触型3 Dデュアルコア光学イメージング輪郭測定法(共焦点と干渉測定)。

2.機能:ハイビジョンイメージング、ハイビジョン3 D形態、輪郭、座標、厚さ、粗さ、体積、表面テクスチャ、スペクトル分析、色分析など。

3.コントラストモード:ハイビジョン共焦点、ハイビジョン干渉測定(PSI、ePSI、VSI)、高清明場カラー、明場、暗場、リアルタイムハイビジョンRGB共焦点。

4.サンプル高さ標準型:40 mm、可変支柱を含む:最高150 mm、要求に応じて、より高いサンプル高さを提供することができます。

5.対物レンズ共焦点、明場及び暗場モードにおいて、倍率1.25×〜150×、干渉測定モードでは、増幅倍率は5×〜50×である。

6.対物レンズ回転盤6位手動式対物レンズ回転器/6位電動式対物レンズ回転器。

7.ステージ走査範囲(x、y、z)垂直:z = 40 mm;水平:XY=100 x 75 mm(標準)、または=300 x 300 mm(最大)。必要に応じて、より大きなステージを提供することができます。

8.垂直走査範囲は合計40 mm焦点を合わせ、PSI20 mm,ePSI100 mm,VSI10 mm。

9.照明LED光源:赤色(630 nm)、緑色(530 nm)、青色(460 nm)と白色。

10.画像収集CCDモノクロセンサ:1360 x 1024画素(フル解像度)、白黒35 FPS真彩/共焦点:3 FPS(フル解像度)、10 FPS(半解像度)、15 FPS映像共焦点。

11.試料反射率0.1〜100%。

12.寸法と重量の長さx幅x高さ=573 mmx 390 mmx 569 mm、重量:48 kg。

13.動作条件温度:10°〜35°C、相対湿度(RH)<80%標高<2000 m。

14.防振能動または受動。

15.再現性(50 x拡大倍率)共焦点/VSI:誤差=0.003 mm(3 nm)、PSI:誤差=0.16 nm(0.00016 mm)。

16.精度(20 x拡大倍率)開環:相対誤差<3%;閉ループ:誤差<20 nm。

共焦点モード

対物レンズ倍率:1.25×2.5×5×10×20×50×100×150×

開口数:0.04 0.07 0.15 0.5 0.9 0.95 0.95

視野(μm):14032 x 10560 7016 x 5280 3508 x 2640 1754 x 1320 877 x 660 351 x 264 175 x 132 117 x 88

光学分解能(X/Y):(μm)3.52.00.94 0.47 0.28 0.16 0.14

縦分解能(nm):<3000<350<150<30<15<5<2<2

一般的な測定時間:3-5s

干渉測定モード

対物レンズの拡大倍率:5×10×20×50×

開口数:0.15 0.30 0.40 0.50

視野(μm):3508 x 2640 1754 x 1320 677 x 660 351 x 264

光学分解能(青色光)(X/Y)(μm):0.94 0.47 0.35 0.28

光学分解能(白色光)(X/Y)(μm):1.12 0.56 0.42 0.33

縦分解能(nm)PSI<0.1、ePSI < 1.0;VSI < 3.0

垂直走査速度(μm/s)VSI/ePSI:2.4~17μm/s

典型的な測定時間PSI:3–6 sVSI:10 s、ePSI:30s

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