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製品の詳細
えきたいりゅうどけい
フォトレジスト製品、SOGなどの製品中の0.15 umの粒子を検出することができる
◼ 最小粒径0.15 umの粒子を検出可能
◼ 独自に設定可能な粒径範囲0.15 ~ 0.5 um、KE-40 B 1のコントローラにより10チャネルに拡張可能
出荷時に4チャネルに設定：0.15/0.2/0.3/0.5 um
◼ 総合漏洩センサと警報出力
◼ お客様はこの測定範囲内で独自に粒径チャネルを選択することができます（KE-40 B 1経由）
出荷時に4チャネルに設定：0.15/0.2/0.3/0.5 um
◼ 総合漏洩センサと警報出力
◼ お客様はこの測定範囲内で独自に粒径チャネルを選択することができます（KE-40 B 1経由）
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