米OAIは設立から35年の歴史を持ち、光源の製造と測定において世界をリードしてきた。
OAI光源は仕事が安定しており、出光効率が高く、高均一性と散乱角が小さいことで知られている。20 inch以上の大面積光源を提供することができる。OAI光電力計は工業的に広く応用されており、NIKON、CANON、ASMなどの有名なフォトリソグラフィ装置メーカーはすべてOAI光電力計を使用している。
OAIも生産フォトリソグラフィ装置特にOAI MODEL 800シリーズの両面露光機は、世界的に非常に広く応用されている。
OAI MODEL 800MBA
両面アラインメント露光機
露光モード近接、ソフト/ハードコンタクト、真空コンタクト
マスクサイズ最大9“x 9”
最大200 mmウェハ露光に最適