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製品の詳細
プラズマで残留有機物を洗浄し、フィールドの変化を下げ、温度>1000℃を高温下で環境透過型電子顕微鏡を観察することができ、劣悪な堆積&化学条件に耐えてイメージング解像度と機械強度に理想的なバランスを提供し、低圧CVD、低応力を採用し、平坦、絶縁、疎水性の平面を提供する。
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