MPI TS 150は150 mm手動プローブシステムを有する手動プローブ台であり、その手動プローブシステムはオープンであり、使用しやすく、コスト効果があり、高精度である。このシステムは150 mmまでの基板とウエハの精密分析のために設計されている。故障解析、設計検証/ICエンジニアリング、ウェハレベルの信頼性など、さまざまなアプリケーションをサポートするように構成することができます。MEMS，高出力とデバイスの特性化とモデル化。

二、製品の説明

1. スタンドアロンマルチアプリケーション設計

コンポーネントの特性記述やモデリング、ウェハレベルの信頼性（WLR）、故障解析（FA）、集積回路工学、マイクロ電気機械システム（MEMS）、高電力（HP）などの様々なウェハ測定用途に適している

2. こうかがくせっけい

片手での操作を容易にする高速解放牽引移動エアフロートステージ設計

10本までのDCまたは4本のRFマイクロロケータを搬送する堅牢なワークベンチ

三段式テーブルのクイックリフトハンドル設計（contact-separation-loading）により、高い再現性を実現

3. 弾力性オプションとアップグレード性

また、アップグレード可能なウェハステージが複数あり、DC/RF/mmWマイクロポジショナ、光学顕微鏡、映像レンズ、電磁シールドボックスなどの多くの部品が搭載可能で、アプリケーションニーズを完全に支援しています。

三、特徴と優勢

1. くうきだんかい

TS 150の独特な空気軸受プラットフォームの設計、簡単な片手円盤制御、比類のない操作利便性を提供し、高速XYナビゲーションと高速ウェハロードを実現することができ、同時に正確で正確な位置決め能力に影響を与えず、追加の精密で正確な25 x 25 mm XY-Thetaマイクロメータコアを有する。

2. プローブ付きサスペンション制御™のプラテンリフト

測定精度はまず接触品質にかかっている！高再現性（1μm）のプラテンリフティング設計には、接触、分離（300μm）、ロード（3 mm）のための3つの離散的な位置があり、安全ロックユーティリティがあり、これらはMPI手動プローブシステムに比類のない機能の例である。これらの機能により、予期せぬプローブやウェハの破損を防止しながら、直感的な制御と正確な接触位置決めを提供することができます。この能力は、最も正確な測定結果を実現するために、高周波と高出力のアプリケーションにおいて特に重要です。

TS 200およびTS 300の場合、追加のProbe Hover Control™サスペンション高さ（50,100または150μm）があり、パッドの位置合わせを容易かつ容易に検出できます。

3. 高さ調整量表

プローブプラテンは、様々な用途をサポートするために25 mmの微細な高さ調整を有する。独自の1 mm精密目盛は、現在の位置に直接フィードバックすることができます。

4. コンパクトかつ剛性のあるプラテン設計

コンパクトで堅牢なプラテン設計により、10個までのDCまたは4個までのRF MicroPositionerを収容でき、さまざまなアプリケーション要件を満たすことができます。

5. 各種チャックオプション

手動システムは、さまざまな予算およびアプリケーション要件に対応するためのさまざまなチャックオプションを提供します。チャック選択には、MPIの同軸または3軸チャック、または各種ERSホットチャックトランペットが300℃までの温度測定をサポートしています。例えば、高速で便利なアクセスと操作のための熱タッチコントローラのシームレスな統合。

6. ほじょチャツク

RFチャックは、正確なRF較正のための2つの内蔵セラミック材料の補助チャックを含む。

7. さまざまな光学的および運動的選択

一般的なDC/CVアプリケーション用のステレオまたはRF構成用の単管MPI SZ 10またはMZ 12を選択できる複数の光学素子およびムーブメントが提供される。Mitotoyo FS 70やMotic PSM-1000などの高出力光学デバイスも故障解析用途に使用できる。

8. こうがくけいしゃ

標準的な特徴または空気圧駆動の90度傾斜として、リニアZリフトは非常に便利な設置と交換しやすいプローブチップを提供する。

9.防振プラットフォーム

すべての手動システムは振動吸収台座を含み、安定で信頼性の高い長期プローブとパッドの接触を実現し、信頼性の高い測定結果を確保することができる。実験室環境に大量の振動保護が必要な場合は、防振プラットフォームまたはテーブルを選択して配置することができます。

10. DarkBox

使用可能なDarkBoxオプションは、EMI遮蔽および非透過性試験環境を提供し、超低ノイズDC測定に使用できます。

四、機能パラメータ

1. 仕様

2. プローブ押え板

3. 非ホットチャック