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製品の詳細
Axio Imager.Varioは広いサンプル空間を持ち、太陽電池、ウエハ加工検査、フラットパネルディスプレイ（FPD）などの半導体業界で生産される材料検査、技術開発、オンライン検査に適している。
技術パラメータ
1、対物レンズ：5 x、10 x、20 x、50 x、100 x（1.25 x、2.5、150 x、LD機能を選択可能）。
2、接眼レンズ：10 x拡大（16 x、25 xを選択可能）、視野数23（オプション25）。
3、対物レンズオートフォーカス最大ストローク：5 mm。
4、サンプル空間深さ（光軸から柱までの距離）、385mm。
5、ステージストローク：
透反両用手動ステージ、200 mmX 200 mm移動範囲、
反射光用手動ステージ、300 mmX 300 mm移動範囲、
透反両用電動ステージ、200 mmX 200 mm移動範囲、
透反両用電動ステージは、反射光用で300 mmX 300 mm移動範囲、透過光用で200 mmX 200 mm移動範囲である。
6、顕微鏡モジュールの品質：17.5〜20 kg。
7、光源：12 V 100 Wハロゲンランプ、インテリジェント化光路管理器、光強度色温度自動調整可能。
8、拡張性：自動集束、透過光路を選択可能。
技術パラメータ
1、対物レンズ：5 x、10 x、20 x、50 x、100 x（1.25 x、2.5、150 x、LD機能を選択可能）。
2、接眼レンズ：10 x拡大（16 x、25 xを選択可能）、視野数23（オプション25）。
3、対物レンズオートフォーカス最大ストローク：5 mm。
4、サンプル空間深さ（光軸から柱までの距離）、385mm。
5、ステージストローク：
透反両用手動ステージ、200 mmX 200 mm移動範囲、
反射光用手動ステージ、300 mmX 300 mm移動範囲、
透反両用電動ステージ、200 mmX 200 mm移動範囲、
透反両用電動ステージは、反射光用で300 mmX 300 mm移動範囲、透過光用で200 mmX 200 mm移動範囲である。
6、顕微鏡モジュールの品質：17.5〜20 kg。
7、光源：12 V 100 Wハロゲンランプ、インテリジェント化光路管理器、光強度色温度自動調整可能。
8、拡張性：自動集束、透過光路を選択可能。
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