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YAMATOレジスト硬化炉DTPN-612 GCT 01
性能（JTM規格による）使用温度範囲：室温＋50〜500℃温度調節精度：±0.5℃（at 450℃無負荷状態下）温度分布精度：±5℃（at 450℃無負荷状態下）JTM標準規定点有効サイズ1/6箇所
製品の詳細
性能（JTM規格による）
使用温度範囲：室温+50～50℃
温度調節精度：±0.5℃（at 45 0℃無負荷状態）
温度分布精度：±5℃（at 45 0℃無負荷状態）
JTM標準規定点有効寸法1/6箇所、槽内中心点を含む計9点を測定
運転：プログラム運転（昇温、恒温、降温、タイミング）
タイミングエネルギー：1 min～99 h 59 min、100～999 h、
昇温速度：≦40 min、（150～450℃≧7.5℃/min、全行程平均）
清浄度：温度一定時100級
酸素濃度：20 ppm以下
真空度：100 Pa以下
真空到達時間：約15 min
動作状態指示：タッチパネルに動作過程（抽真空中-N 2置換中-酸素濃度検出中-加熱中、N 2維持中-一定中-冷却中-抽真空中-空気中-終了）
こうぞう
外装材質：冷間カラー鋼板、表面射出成形
内装受圧体の材質：SUS 316ステンレス板、
断熱材：ケイ酸アルミニウム綿板
ヒータ：シースステンレス加熱管380 V 4.0 KwX 3=12 Kw
ホットプレート220 V 300 wX 14＝4.2 Kw
組み合わせ式送風機：遠心羽根φ230 X 130-1個、風量L=1800 m 3/h
周波数変換変速モータ380 V（1450/min回転）
N 2ノズル：N 2ノズル
水冷器：SUSコイル熱交換器
濾過網：耐高温効果濾過網HEPA（濾過率0.3μm粒子99.9995%以上）
ドア：シングルドア正面、ドア開口W 660×H 660
外形寸法：本体W 1150×D 1215×H 1697（設置時、および突起物を除く）
内室寸法：W 600×D 600×H 600 mm
容積：216 L
棚受段数：17段/30 mm（高さ方向均等）
棚板数：2枚
N 2外接吸気継手：速交換継手φ10 mm 1個。
冷却水継手：速交換継手φ10 mmとφ16 mmを1つずつ。
試験孔：左側1個のKF 16温度分布精試験口、2個の雌ねじ1/4の継手、酸素濃度と清浄度の検査に用いる。
電磁弁：真空、N 2、水のオンオフタイミングを制御する。
重量：320 g
電源：AC 380 V 3φ5 W 50 Hz 30 A以下
けいそう
温度調節器：液晶タッチパネルプラスPLC、PID制御、液晶表示、タッチボタン設定。
温度センサー：K型熱電対4本
圧力制御器：デジタル式
圧力トランスミッタ：相対値圧力トランスミッタ
差圧計：内槽と空調との差圧を測定するために用いられ、これを根拠にフィルタの清掃が必要かどうかを判定する。
インバータ：ファンの回転数を与で調節する（タッチパネルからファン周波数を設定する）
ガラス回転子流量計：a.300 L/minは高速かつ槽内の酸素濃度が10 ppm以下であることを保証するために使用される。
b.15-25 L/min槽内の酸素濃度を10 ppm以下に維持するために使用し、また予熱器を加えて槽内に入るN 2温度が槽内設定温度であり、槽内の均一性を妨げないことを保証する。
酸素濃度分析器：槽内の酸素濃度を測定し、20 ppm以下で加熱し、
真空ポンプ：愛発科二段有油旋片式真空ポンプ
温度過昇防止器：温度異常過昇の防止、
電磁弁：真空引き、N 2及び冷却水の開閉を制御するために用いられる。
強制ドアロック：2箇所
ほごそうち
漏電保護スイッチ：本体380 V漏電保護スイッチ
漏電、短絡、過電流保護
定格感度電流30 mA
過熱防止回路：温度異常過昇時、ヒータ電源断、モータ風葉動作、警報
送風機モータ：モータ過負荷時、ヒータ電源が保護回路を遮断し、警報を鳴らす
N 2異常：窒素ガス流量不足、加熱停止、警報
冷却水異常：流量不足、警報
ドアロックドアロック：動作時ドアオートロック
ドアのスイッチ：ドアが閉まっていないので、機械は起動せず、スタートボタンを押して、アラームを与えます。
異常表示：上記異常が発生した場合、タッチパネル上のアラーム提示枠が異常に故障内容を表示し、ブザーが鳴る。
使用温度範囲：室温+50～50℃
温度調節精度：±0.5℃（at 45 0℃無負荷状態）
温度分布精度：±5℃（at 45 0℃無負荷状態）
JTM標準規定点有効寸法1/6箇所、槽内中心点を含む計9点を測定
運転：プログラム運転（昇温、恒温、降温、タイミング）
タイミングエネルギー：1 min～99 h 59 min、100～999 h、
昇温速度：≦40 min、（150～450℃≧7.5℃/min、全行程平均）
清浄度：温度一定時100級
酸素濃度：20 ppm以下
真空度：100 Pa以下
真空到達時間：約15 min
動作状態指示：タッチパネルに動作過程（抽真空中-N 2置換中-酸素濃度検出中-加熱中、N 2維持中-一定中-冷却中-抽真空中-空気中-終了）
こうぞう
外装材質：冷間カラー鋼板、表面射出成形
内装受圧体の材質：SUS 316ステンレス板、
断熱材：ケイ酸アルミニウム綿板
ヒータ：シースステンレス加熱管380 V 4.0 KwX 3=12 Kw
ホットプレート220 V 300 wX 14＝4.2 Kw
組み合わせ式送風機：遠心羽根φ230 X 130-1個、風量L=1800 m 3/h
周波数変換変速モータ380 V（1450/min回転）
N 2ノズル：N 2ノズル
水冷器：SUSコイル熱交換器
濾過網：耐高温効果濾過網HEPA（濾過率0.3μm粒子99.9995%以上）
ドア：シングルドア正面、ドア開口W 660×H 660
外形寸法：本体W 1150×D 1215×H 1697（設置時、および突起物を除く）
内室寸法：W 600×D 600×H 600 mm
容積：216 L
棚受段数：17段/30 mm（高さ方向均等）
棚板数：2枚
N 2外接吸気継手：速交換継手φ10 mm 1個。
冷却水継手：速交換継手φ10 mmとφ16 mmを1つずつ。
試験孔：左側1個のKF 16温度分布精試験口、2個の雌ねじ1/4の継手、酸素濃度と清浄度の検査に用いる。
電磁弁：真空、N 2、水のオンオフタイミングを制御する。
重量：320 g
電源：AC 380 V 3φ5 W 50 Hz 30 A以下
けいそう
温度調節器：液晶タッチパネルプラスPLC、PID制御、液晶表示、タッチボタン設定。
温度センサー：K型熱電対4本
圧力制御器：デジタル式
圧力トランスミッタ：相対値圧力トランスミッタ
差圧計：内槽と空調との差圧を測定するために用いられ、これを根拠にフィルタの清掃が必要かどうかを判定する。
インバータ：ファンの回転数を与で調節する（タッチパネルからファン周波数を設定する）
ガラス回転子流量計：a.300 L/minは高速かつ槽内の酸素濃度が10 ppm以下であることを保証するために使用される。
b.15-25 L/min槽内の酸素濃度を10 ppm以下に維持するために使用し、また予熱器を加えて槽内に入るN 2温度が槽内設定温度であり、槽内の均一性を妨げないことを保証する。
酸素濃度分析器：槽内の酸素濃度を測定し、20 ppm以下で加熱し、
真空ポンプ：愛発科二段有油旋片式真空ポンプ
温度過昇防止器：温度異常過昇の防止、
電磁弁：真空引き、N 2及び冷却水の開閉を制御するために用いられる。
強制ドアロック：2箇所
ほごそうち
漏電保護スイッチ：本体380 V漏電保護スイッチ
漏電、短絡、過電流保護
定格感度電流30 mA
過熱防止回路：温度異常過昇時、ヒータ電源断、モータ風葉動作、警報
送風機モータ：モータ過負荷時、ヒータ電源が保護回路を遮断し、警報を鳴らす
N 2異常：窒素ガス流量不足、加熱停止、警報
冷却水異常：流量不足、警報
ドアロックドアロック：動作時ドアオートロック
ドアのスイッチ：ドアが閉まっていないので、機械は起動せず、スタートボタンを押して、アラームを与えます。
異常表示：上記異常が発生した場合、タッチパネル上のアラーム提示枠が異常に故障内容を表示し、ブザーが鳴る。
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