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計器計器
YAMATOプラズマアッシング機PR 210 C/300/301エコノミー、高周波プラズマ
YAMATOプラズマ洗浄機PDC 610 RIE・DPモード、多段平行平板電極
YAMATOプラズマ洗浄機AP-4000ハンドヘルド
YAMATOプラズマ洗浄機YSP 62オンライン式、自動伝送システムを含む
YAMATOプラズマ洗浄機PR 500/510/1000 DPモード、バケットタイプ
YAMATOプラズマ洗浄機PM 100エコノミー、低周波プラズマ
YAMATOプラズマ洗浄機V 1000/1000 X/1000 XS RIE・DPモード、多段平行平板電極、大容量
YAMATOプラズマ洗浄機PDC 200/210/510 RIE・DPモード、平行平板電極
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