高周波プラズマ表面処理装置

■操作性・機能
●無線周波数13.56 Mhz 0-1000 W高出力モデル、DPとRIE標準装備の2モードプラズマ洗浄機は、より多くの複雑なプロセスに対応できる。
●電離式真空計を標準装備し、リアルタイムで真空度を表示し、制御をより正確にする。
●液晶タッチパネル制御、操作使用が簡単で、データの呼び出しが簡単である。

■安全性・保護
●真空漏洩検出機能を標準装備し、必要に応じて設備の真空及び漏洩状況を検査することができる。
●過電流漏電保護、真空ポンプ、RF発生器を搭載し、電源各部に過電流漏電保護装置を標準装備する。
●発生器保護回路：過負荷またはRF発生器に問題が発生した場合、自動的に周波数を下げて発生器を保護することができる。
●ドアロックスイッチ：ドアが完全に閉じられていないと電源が入らない。
●側板ロック：本体側板が突然開いたり閉じなかったりすると、電源が停止します。
●非常停止ボタン（EMO）は標準装備。
●装置に異常が発生した場合、装置本体は警告信号を発しながら、以下の動作を行う1）メインバルブを閉じる。（2）給気弁を閉じる。（3）出力発振器を停止する。（4）処理時間を停止する。（5）音響光学警報

■製品の利点
●プラズマ洗浄機は洗浄効果がよく、洗浄効率が高く、パワーが大きく、応用範囲が広い。
●DP&RIEデュアルモード処理は、より複雑なプロセスに対応できます。
●高精度アダプタを搭載し、高性能RF電源。
・可変電極構造によるプラズマ処理効果の向上。
●安全保護措置が綿密で、機械及びサンプルへの損害を効果的に防止する。
・必要に応じて製品カスタマイズサービスを提供することができます。


■製品図面



■設備設置図