Zeta-388光学輪郭計は自動化非接触式3 D表面形態測定システムであり、統合された免震システムと柔軟な配置を有し、cassette-to-cassetteの搬送システムを搭載し、特に自動化生産に適している。このシステムはZDotを採用している™技術とMulti-Mode（マルチモード）光学系は、透明性と不透明性、低い反射率、滑らかなテクスチャから粗いテクスチャ、ナノメートルからミリレベルの段差高さなど、さまざまなサンプルを測定することができます。

Zeta-388の構成は柔軟で使いやすく、6つの異なる光学計測技術が揃っています。ZDot™測定モードは、高解像度3 DデータとTrue Color（真彩）無限遠焦点画像を同時に収集することができる。他の3 D測定技術には、白色光干渉測定、Nomarski干渉コントラスト顕微鏡、及び剪断干渉測定が含まれる。ZDotまたは集積広帯域反射計はいずれも膜厚を測定することができる。Zeta-388は、完全に自動化された生産施設でZeta-388が使用できるようにする包括的なステップ高さ、粗さ、フィルム厚さの測定、および欠陥検出能力を提供します。OCRとSECS/GEM機能。

二、機能

主な機能

階段の高さ：ナノメートルからミリメートルレベルの3 D階段の高さ

テクスチャてくすちゃ:非常に粗い表面への滑らかな粗さとうねり

外形：3 D反りと形状

応力：2 Dフィルム応力

膜厚：30 nmから100μmの透明膜厚

欠陥検出：1μmより大きい欠陥を捕獲する

欠陥再検査：KLARFファイルをナビゲーションとして用いて欠陥の3 D表面形態または切断路欠陥位置を測定する

技術的特徴

Zeta-388はZDotとMulti-Mode（マルチモード）光学素子を用いた簡単で使いやすい全自動光学プロファイル計であり、広範な応用がある：

Z-Dot：高解像度3 DデータとTrue Color（真彩）無限遠焦点画像を同時に収集する

ZXI：Z方向分解能の高い広域測定に適する白色光干渉測定技術

ZIC：サブナノメートルレベルの粗さの表面に適し、その3 D定量データを提供する干渉コントラスト

ZSI：せん断干渉測定技術はz方向高解像度画像を提供する

ZFT：集積広帯域反射計を用いた膜厚と反射率の測定

AOI：自動的に光学的に検出し、サンプル上の欠陥を量子化する

生産能力：シーケンシングとパターン認識による全自動測定を実現し、3 D Scanningをサポートする

大型Wafer測定：最大測定寸法は8寸まで拡張可能

ぎじゅつりょく

三、応用

ショットガラス-表面粗さ

ガラスなどの透明表面及び不透明表面の形態及び表面粗さを試験するために使用することができる。

太陽電池–反射率の異なる表面形態測定

複雑な差異化反射率試料の表面形態を容易に得ることができる。

MEMSデバイス-段差の高さと粗さ

小サイズ試料のnm段階段精度、大サイズ試料のサブミクロン階段精度。

レンズ-完全な表面プロファイル

画像接合機能により、大面積サンプルの完全な表面輪郭を得ることができます。

高分子フィルム-膜厚測定

PIおよびPRフィルムの厚さ測定に使用でき、ウェハ全体にわたって膜厚mappingを生成することができる。

サファイア-パターン化ウエハの表面欠損はまり込む

特定の欠陥に対して3次元輪郭走査を行い、相関測定を行い、ウェハ表面欠陥に対して寸法、輝度、アスペクト比などで分布統計を行い、mappingを生成することができる。

四、その他

国内ユーザー

南京大学

南京郵電大学

海外ユーザー

マサチューセッツ工科大学

カリフォルニア大学ダラス校

エール大学

テキサス大学オースティン校

西部データ

応用材料

博世

レチェスター大学

めったにありません

関連文献

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