Zeta-20卓上光学プロファイル計は非接触式3 D表面形態測定システムである。このシステムはZDot™テクノロジーとMulti-Mode（マルチモード）光学系、透明と不透明、低い反射率から高い反射率、滑らかから粗いテクスチャ、ナノメートルからミリレベルの段差高さなど、さまざまなサンプルを測定することができます。

Zeta-20の構成は柔軟で使いやすく、6つの異なる光学計測技術を集めている。ZDot™ 測定ボリュームモードは高解像度を同時に収集することができます3DデータとTrue Color（真彩）無限遠焦点画像。その他3D測定技術は白色光干渉測定、Nomarski干渉コントラスト顕微鏡とせん断干渉測定。ZDotあるいは集積広帯域反射計はいずれも膜厚を測定することができる。Zeta-20サンプル再検査や自動欠陥検出に使用できるハイエンド顕微鏡でもある。Zeta-20全面的な段差高さ、粗さとフィルム厚さの測定及び欠陥検出機能を提供することにより、研究開発及び生産環境に適している。